GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強
PCE-05石英真空等離子清洗機石英圓形真空腔體,腔體處理溫度低,避免長時間等離子處理造成的腔體溫度過高,確保對樣品表面沒有造成熱影響。 電源:采用*電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果,頻率13.56MHZ,功率0-600W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配。 放電技術(shù):特殊處理及特殊結(jié)構(gòu)的放電裝置,確保形成穩(wěn)定均勻的等離子體。
MSK-531 圓柱型電池清洗機是應(yīng)用于圓柱型電池外觀清洗及熱風(fēng)烘干工藝的設(shè)備。設(shè)備采用刷洗清洗技術(shù)對電池外觀進行清潔,并采用熱風(fēng)加熱方式進行風(fēng)干,效率*。
PCE-6V小型等離子清洗機集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機污染物,清洗程度可達到分子級。另外,其樣品臺可選配加熱功能,可加負偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。